机译:高度均匀的AlGaN / GaN / HEMT结构的改进的热壁MOCVD生长
机译:2英寸AlGaN / GaN HEMT结构的均匀热壁MOCVD外延生长
机译:具有超高室温2DEG迁移率的AlGaN / GaN-on-Si HEMT结构的晶圆级MOCVD生长
机译:单晶片旋转盘MOCVD反应器中的高通量和高效增长的工艺条件优化和AlGaN / GaN HEMT结构的高效增长
机译:研究常关模式的AlGaN / GaN MOS HEMT器件,该器件利用栅极后退和p-GaN栅极结构以及带有醛生长的高k栅极绝缘体来实现高功率应用。
机译:使用低Al组成的单个AlGaN层在Si衬底上生长高质量和均匀的AlGaN / GaN异质结构
机译:高度均匀的AlGaN / GaN / HEMT结构的改进的热壁MOCVD生长